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探针卡量测专用机
探针卡机台
A. 检测规格
(1) 可检测多种探针类型及针尖型式
(2) 针卡检测：将针卡进行扫描后即可得到以下资料：
a.针中心座标偏移 ( 可输入公差与标准规格比对 )
b.针尖尺寸 ( 四边形长宽、圆形直径 )
c.针尖尺寸 ( 相对位置 )、针尖共面
(3) 检测单元与调整单元共位设定、光学检测镜头与调针显微镜共位设定，可以随
时作软体移动校准补偿，可以快速校正机台座标以达到更精确的量测。
(4) 搭配客制化专业探针卡检测分析软体，人性化中英文介面软体，操作简便，可
以直接汇入EXCEL针卡座标及直径做为比对。
(5) 调针不需人工寻找针卡NG点位置，全由软体控制定位，可清楚完整呈现针卡偏
移的方 向，完全不需人工臆测。
(6) 机台光学尺解析度：1 um，平台重复精度2um，目前为业界最佳探针量测机
台表现。
(7) 机台高效率异常侦测可检出针径>8um、针偏>3um
(8) 智能调针系统操作，业界最快调针速度，优於PRVX，也较传统式调针机台节
省50%以上 的时间。
(9) XY移动台旋转180度 ( 另备有挑针扶手方便人员操作 )。
(10) XY移动平台附加高精准探针卡专用平面研磨置具。
(11) 工作平台加大至1500mm，采U型设计，方便人员操作。
(12) 机台配有Probe 专用客制化置具、工业摇杆一组。
B. 硬体规格
A. 检测规格
(1) 可检测多种探针类型及针尖型式
(2) 针卡检测：将针卡进行扫描后即可得到以下资料：
a.针中心座标偏移 ( 可输入公差与标准规格比对 )
b.针尖尺寸 ( 四边形长宽、圆形直径 )
c.针尖尺寸 ( 相对位置 )、针尖共面
(3) 检测单元与调整单元共位设定、光学检测镜头与调针显微镜共位设定，可以随
时作软体移动校准补偿，可以快速校正机台座标以达到更精确的量测。
(4) 搭配客制化专业探针卡检测分析软体，人性化中英文介面软体，操作简便，可
以直接汇入EXCEL针卡座标及直径做为比对。
(5) 调针不需人工寻找针卡NG点位置，全由软体控制定位，可清楚完整呈现针卡偏
移的方 向，完全不需人工臆测。
(6) 机台光学尺解析度：1 um，平台重复精度2um，目前为业界最佳探针量测机
台表现。
(7) 机台高效率异常侦测可检出针径>8um、针偏>3um
(8) 智能调针系统操作，业界最快调针速度，优於PRVX，也较传统式调针机台节
省50%以上 的时间。
(9) XY移动台旋转180度 ( 另备有挑针扶手方便人员操作 )。
(10) XY移动平台附加高精准探针卡专用平面研磨置具。
(11) 工作平台加大至1500mm，采U型设计，方便人员操作。
(12) 机台配有Probe 专用客制化置具、工业摇杆一组。
B. 硬体规格
(1) X、Y、Z量测范围：400X300X100 mm
(2) 电控Z轴及多重防护撞片系统，排除针卡撞击之风险
(3) 机身结构：机台精密花岗石基座+ Z柱花岗石光学机台精度可达
(1+5L/1000) μm，重覆精度：1um；可满足物件检测之高精度要求
(4) 同轴光光学镜头，放大倍率 200X ( 可换倍率 )
(5) 精密光学尺，解析度为0.1 μm
(6) 检测摄影机：佰万画素摄影机
(7) 表面光源：可调式同轴光源组；环型光源：可调式光源组 ( Auto-Light )
(8) 工业级电脑主机 ( 含W10 Pro正版 ) + 22“ TFT-LCD液晶萤幕
(9) 机台尺寸(长x宽x高) 1800 X 1200 x 1800 (mm)；机台重量 1800 Kgs
C. 挑针调整规格
(1) 挑针可调整范围 ( X、Y 轴 ) 300 mm x 300 mm ( 12”X 12”)
(2) 两眼式 Leica 立体显微镜，25X目镜含十字线刻度显示，目镜筒可45度抬头
倾斜，瞳距52~75 mm ± 5 mm
(3) 可连续变倍0.75X ~ 6.0X，工作距离 110 mm