商品介紹探針卡量測 / 調針專用機探針卡量測專用機
探針卡量測專用機
A. 檢測規格
(1) 可檢測多種探針類型及針尖型式
(2) 針卡檢測：將針卡進行掃描後即可得到以下資料：
a.針中心座標偏移 ( 可輸入公差與標準規格比對 )
b.針尖尺寸 ( 四邊形長寬、圓形直徑 )
c.針尖尺寸 ( 相對位置 )、針尖共面
(3) 檢測單元與調整單元共位設定、光學檢測鏡頭與調針顯微鏡共位設定，可以隨
時作軟體移動校準補償，可以快速校正機台座標以達到更精確的量測。
(4) 搭配客製化專業探針卡檢測分析軟體，人性化中英文介面軟體，操作簡便，可
以直接匯入EXCEL針卡座標及直徑做為比對。
(5) 調針不需人工尋找針卡NG點位置，全由軟體控制定位，可清楚完整呈現針卡偏
移的方 向，完全不需人工臆測。
(6) 機台光學尺解析度：1 um，平台重複精度2um，目前為業界最佳探針量測機
台表現。
(7) 機台高效率異常偵測可檢出針徑>8um、針偏>3um
(8) 智能調針系統操作，業界最快調針速度，優於PRVX，也較傳統式調針機台節
省50%以上 的時間。
(9) XY移動台旋轉180度 ( 另備有挑針扶手方便人員操作 )。
(10) XY移動平台附加高精準探針卡專用平面研磨置具。
(11) 工作平台加大至1500mm，採U型設計，方便人員操作。
(12) 機台配有Probe 專用客製化置具、工業搖桿一組。
B. 硬體規格
(1) X、Y、Z量測範圍：400X300X100 mm
(2) 電控Z軸及多重防護撞片系統，排除針卡撞擊之風險
(3) 機身結構：機台精密花崗石基座+ Z柱花崗石光學機台精度可達
(1+5L/1000) μm，重覆精度：1um；可滿足物件檢測之高精度要求
(4) 同軸光光學鏡頭，放大倍率 200X ( 可換倍率 )
(5) 精密光學尺，解析度為0.1 μm
(6) 檢測攝影機：佰萬畫素攝影機
(7) 表面光源：可調式同軸光源組；環型光源：可調式光源組 ( Auto-Light )
(8) 工業級電腦主機 ( 含W10 Pro正版 ) + 22“ TFT-LCD液晶螢幕
(9) 機台尺寸(長x寬x高) 1800 X 1200 x 1800 (mm)；機台重量 1800 Kgs
C. 挑針調整規格
(1) 挑針可調整範圍 ( X、Y 軸 ) 300 mm x 300 mm ( 12”X 12”)
(2) 兩眼式 Leica 立體顯微鏡，25X目鏡含十字線刻度顯示，目鏡筒可45度抬頭
傾斜，瞳距52~75 mm ± 5 mm
(3) 可連續變倍0.75X ~ 6.0X，工作距離 110 mm